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大口径平面拼接测量工作站

大口径平面拼接测量工作站,基于子孔径拼接技术,实现600mm大口径平面光学元件的拼接测量,拓展了干涉仪的横向和纵向测量范围,能够以低成本、高分辨率检测大口径光学元件。
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产品描述
参数

  应用:大口径光学平面的面形及透射波前检测。

  核心技术:

  1.um级定位多轴精密运动台

  2.精密的振动及环境控制技术

  3.高精度子孔径拼接算法

 

关键词:
拼接
大口径
平面
测量
光学
检测
精密
元件
技术
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地址:吉林省长春市北湖科技开发区科技园12号楼
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