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大型光学调整架及精密运动台

大型光学调整架包括:干涉仪五维调整台、镜头五维调整台、300mm-600mm口径大型五维、二维调整架、大口径( 1300mm)镜架等(手动/电动)。根据用户需求定制各类型微米级定位精度的单轴、多轴运动台(含真空平台)及笛卡尔龙门多轴运动系统，同时提供开放式1-12轴多轴联动运动控制系统。

产品描述

参数

　　应用：用于大口径元件光学检测中对干涉仪主机、大口径光学元件支撑于姿态位置调节。精密运动台用于精密定位，精密测量扫描，光刻，薄片检测，CCD成像，三维成像领域。

关键词:

运动

大口径

光学

精密

五维

干涉仪

检测

元件

成像

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地址：吉林省长春市北湖科技开发区科技园12号楼
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