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大口径激光干涉仪

12寸干涉仪及24寸干涉仪系统,基于4寸干涉仪进行扩束,配置双路测量切换系统。
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产品描述
参数

  测量光路1: 100mm口径测量系统;测量光路2: 300mm或者600mm口径平面测量系统。大口径平面测量系统可配置大口径平面透射标准镜( TF )和大口径平面反射标准镜(RF)。大口径干涉仪扩束系统,采用面形精修核心技术,实现大口径光束的准直性及出射波前质量等关键指标。

  应用:用于测量大口径平面元件面形、平面元件透射波前及光学材料均匀性。

 

关键词:
测量
平面
系统
大口径
干涉仪
透射
口径
配置
标准
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